MOCVD 전구체

다우 전자 재료는 35년 이상의 시장 경험을 바탕으로 트라이메틸 갈륨, 트라이메틸 알루미늄, 트라이메틸 인듐 등 LED 생산용 III-V 유기금속 화학 증착법(Metalorganic Chemical Vapor Deposition, (MOCVD) 전구체 시장을 선도하고 있습니다.

우리는 재료 및 응용 분야에 대한 심층적인 전문 기술과 지식을 바탕으로 액상 및 고형 MOCVD 전구체를 위한 업계 최고의 공급 기술 등 전구체를 뛰어 넘는 혁신 솔루션을 개발하고 있습니다.

전문적인 공급 기술
특허를 받은 다우의 첨단 UNIFLO™ 실린더는 고형 전구체의 재료 증착 효율을 극대화하고 일정한 재료의 흐름을 보장할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 다우는 혁신적인 VAPORSTATION™ 중앙 공급 장치를 제공하며, 이 장치는 단일 벌크 실린더의 다중 반응기를 통해 제어 기능 향상, 보충을 위한 반응기 비가동 시간 단축, 안전성 극대화, 소유 비용 절감 등에 기여합니다.

공급 기술
LED 칩 생산 공정의 효율성 보장

VAPORSTATION™ 중앙 공급 장치

UNIFLO™ II 실린더