CMP 패드 및 슬러리

다우 전자 재료는 CMP(Chemical Mechanical Polishing)를 위한 소모품 개발의 선도업체로서, 급속히 발전하고 있는 반도체 성능의 핵심 기술을 공급하고 있습니다. POLITEX™ 및 SUBA™와 같은 CMP 패드와 슬러리는 LED 생산에 필수적인 소재로 LED 기판 생산에 이상적인 제품입니다.

다우의 LED CMP 제품들은 다음의 중요한 성능 기준을 충족시킵니다.

  • 빠른 제거율
  • 낮은 결함
  • 극도로 낮은 표면 거칠기
  • 최적의 마모율
  • 단일 성분의 사용 간편한 슬러리
  • 탁월한 안정성과 보관 수명

다우의 반도체급 CMP 제품은 고휘도 LED제작을 위한 엄격한 사양의 LED 기판 연마에 필요한 최상의 성능을 보장합니다.